Page 240 - 全国中小企业法律政策宣传月暨浙江省“一起益企·小微你好”、宁波市“甬心助企·一起益企”

甬江实验室：创新驱动，甬江微纳平台赋能某新材关键材料研发，助

推国产化进程

一、基本情况
宁波文曜某新材料有限公司是一家位于宁波市高新区、专注于泛半导体领域
国产创新关键材料的高科技企业，致力于为先进封装、光伏及电子行业提供高性
能、低成本的创新材料解决方案。随着半导体先进封装、光伏电池技术迭代对材
料性能与成本的极致要求，实现关键材料的自主可控与性能突破成为产业链的迫
切需求。
甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台（简称“微纳平台”）聚焦“芯片
异构集成”与“微纳光学”两大方向，致力于支撑前沿科技创新、攻关微纳制造
共性技术、链接赋能产业创新生态的开放共享科创服务平台。微纳平台拥有一流
的基础设施、先进的制程工艺，现已建成 6 英寸研发线和 8 英寸验证线各一条，
配备了 165 台（套）机台设备，涵盖光刻、薄膜、刻蚀、热处理及检测的“全链
条”高端设备。
2025 年，企业依托微纳平台先进的设备、工艺能力与精密检测技术，针对
其核心产品在研发与中试阶段遇到的关键技术瓶颈进行攻关，利用平台设备进行
配方验证、工艺优化及性能评估，加速创新材料的工程化与产业化落地。
二、问题症结
在材料研发与产业化推进过程中，企业面临多重挑战：
一是高端研发设备缺失。关键材料的合成、涂布、固化及性能验证需要特定
的半导体精密设备，企业自建全套产线成本高昂、周期长，制约了研发迭代速度。
二是工艺参数与材料性能的关联性验证困难。新材料从实验室配方到满足产
线要求，需要在实际或模拟的工艺设备上进行大量参数调试与稳定性验证，企业
缺乏相应的中试验证环境。
三是精密检测与分析能力不足。材料的微观结构、成分均匀性、界面结合强
度等关键指标需要依赖扫描电镜、X 射线能谱仪、原子力显微镜等高端检测设备
进行准确表征，企业自身检测能力无法满足深度研发需求。
四是从样品到批量稳定生产的跨越存在断点。实验室规模的样品性能优异，
但放大到中试及批量生产时，常因工艺设备差异导致产品一致性差，需要在中试
线上完成工艺固化。
三、解决路径
围绕上述问题，微纳平台为企业提供了全方位的设备支持与技术服务，形成
了“设备共享-工艺验证-检测分析”的一体化解决方案：
一是开放高端设备资源，补齐研发能力短板。平台向企业全面开放光刻、薄
膜、刻蚀、键合等相关设备，支持其进行配方和工艺的快速试错与迭代优化。
二是提供中试验证环境，帮助企业跨越“死亡之谷”。利用平台的 6 英寸及
8 英寸中试线，企业可以在接近实际生产的条件下，进行材料工艺窗口探索、稳
定性测试及批量一致性验证，加速工艺固化。
三是赋能精密检测分析，支撑性能优化。平台配置的完备检测设备（如 SEM、
EDS、AFM、台阶仪、光谱分析设备等）为企业提供了从微观形貌、成分到光学、
电学性能的全方位精准表征，为材料配方改进提供了关键数据支撑。
四是组建协同攻关小组，提供定制化服务。针对企业研发过程中的验证难题，

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