Page 238 - 全国中小企业法律政策宣传月暨浙江省“一起益企·小微你好”、宁波市“甬心助企·一起益企”

甬江实验室：MOS 器件国产化替代技术支撑服务

一、基本情况
宁波某变频技术有限公司是宁波市专注于变频控制、功率半导体、新能源逆
变装备研发制造的高新技术企业，主营家电变频、工业控制、储能变流等核心装
备，是区域先进制造业与半导体产业链关键配套企业。在国家大力推进关键核心
器件国产化替代、保障中小企业产业链自主可控的政策背景下，企业重点研发
100V/300A 大功率 MOS 器件，该器件是变频控制系统、大功率电源模块的核心功
率元件，直接决定产品效率、可靠性与市场竞争力，是企业突破技术瓶颈、实现
高质量发展的关键产品。
作为一家快速发展的科技型企业，在高端检测设备、专业分析能力、核心工
艺数据方面存在明显不足，对目标 MOS 器件的晶圆类型、沟槽结构、屏蔽栅设
计、封装参数等关键技术要点缺乏系统掌握，导致国产化研发无参数、无依据、
无标准，研发周期长、试制成本高、产品稳定性差。为深入贯彻中小企业服务月
工作部署，切实解决企业“急难愁盼”技术问题，甬江实验室检测中心充分发挥
公共技术服务平台作用，为企业提供 MOS 器件全流程逆向解析、工艺鉴定、参数
测试、可靠性评估一站式技术服务，帮助企业破除技术壁垒、降低研发成本、提
升创新能力，以精准科技服务赋能企业健康发展。
二、问题症结
本次服务精准对接企业在技术创新、工艺攻关、国产替代中的现实痛点，企
业面临的核心问题集中在四个方面：
一是核心工艺不透明，技术路线无法确定。企业无法判断 MOS 器件采用 FZ
扩散晶圆还是外延片，两类基底直接影响产品成本与可靠性，参数缺失导致工艺
路线无法定型，研发方向不清晰。
二是器件结构不明确，性能存在失效风险。沟槽结构、屏蔽栅底部结构、浮
空电极类型等关键设计未知，栅漏电容、开关损耗、散热性能无法控制，易出现
器件寿命短、发热严重、整机失效等问题。
三是封装参数无数据，产品质量难以保障。背金厚度、焊锡空洞率、键合强
度、PAD 残铝厚度等无实测数据，散热、焊接、键合可靠性无法评估，批量生产
良率低、质量不稳定。
四是企业核心器件研发能力不足，研发创新缺乏高精尖设备支撑。企业无
SIMS、FIB、TEM、X-Ray/CT 等高端检测设备，不具备半导体器件微观分析、掺
杂测试、力学性能评价能力，研发进程严重受阻，创新转型面临瓶颈。
上述问题直接导致企业 MOS 器件国产替代推进缓慢，研发投入高、产出效率
低，难以形成自主可控的核心技术能力，制约企业市场竞争力提升与可持续发展，
需公共服务平台提供低成本、高效率、专业化技术支持。
三、解决路径
1.推行“诊”“疗”一体化服务。秉持“不止于检测”的服务理念，针对客
户器件逆向研发的具体卡点与使用场景，采用“从无损到有损、从宏观到微观”
的标准化分析流程开展系统性研判。
2.依托先进设备集群。中心建有化学分析、显微结构与表面分析、可靠性验
证、失效分析、高纯材料测试、物性测试六大专业实验室，配置各类高精度表征
设备 132 台（套），支持从宏观形貌到微观成分的多尺度、多手段联合分析，为
产品逆向开发提供坚实硬件基础。

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